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教你如何區別無塵車間的等級

發布時間:2019-05-19 15:09
無塵車間是屬于人造環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路技術的快速成長,也增加了對制造環境(無塵車間)潔靜度的需求,在工業上即使粒子的尺寸小于1微米,也可能阻礙產品的生產運作或降低其壽命。 由于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。
 
  無塵車間等級劃分:依據美國政府頒布的標準,可將無塵車間分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級
  1級:這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業,對集成電路的精確要求為亞微米。
  10級:該級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。
  100級:很多人認為,這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間,100級無塵室可用于醫藥工業的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應用于,植入體內物品的制造,外科手術,包括移植手術,集成器的制造,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術后的隔離治療。
  1000級:這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等。
  10000級:萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業,此外,萬級無塵車間在醫工業中也很常用。
  100000級:十萬級無塵車間用于很多的工業部門,比如光學產品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統,液壓或氣壓系統的制造,食品飲料的生產,醫、藥工業也常常使用這一級別的無塵車間。
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